[实用新型]一体化研磨抛光装置有效

专利信息
申请号: 201821406562.6 申请日: 2018-08-29
公开(公告)号: CN209021843U 公开(公告)日: 2019-06-25
发明(设计)人: 郑学斌;刘子娟;姜国圣;吴化波;张琼美 申请(专利权)人: 长沙升华微电子材料有限公司
主分类号: B24B25/00 分类号: B24B25/00;B24B27/00;B24B41/02;B24B45/00
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 伍传松
地址: 410600 湖南省长沙*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 实用新型提供了一体化研磨抛光装置,包括工作台、驱动机构和研磨机构,所述工作台上设有高度调节机构,所述驱动机构设于所述工作台上,所述研磨机构包括研磨盘、圆箍、抛光布和套环。本实用新型提供的一体化研磨抛光装置,在研磨功能的基础上,通过在研磨盘上增加铺设抛光布,即可用于抛光,在一台设备上实现了研磨和抛光两种功能,工件研磨或抛光时,无需人工手持工件,解决了现有技术中,手持工件进行操作时,工件易飞出的安全隐患,可以根据需要,方便地更换不同型号类型的研磨盘和抛光布,操作简便,适用范围广,还可以根据工件的大小和厚薄,选择加装圆形卡盘,以稳定工件,提升研磨和抛光效果。
搜索关键词: 研磨抛光装置 抛光布 研磨盘 本实用新型 研磨和抛光 驱动机构 研磨机构 抛光 一体化 高度调节机构 安全隐患 工件研磨 稳定工件 圆形卡盘 厚薄 研磨 工作台 加装 套环 圆箍 铺设
【主权项】:
1.一体化研磨抛光装置,其特征在于,所述一体化研磨抛光装置包括工作台,所述工作台上设有高度调节机构(1);驱动机构(2),所述驱动机构(2)设于所述工作台上;研磨机构,所述研磨机构包括研磨盘,所述研磨盘包括第一研磨盘(3)和第二研磨盘(10),所述第一研磨盘(3)的底面与所述驱动机构(2)相连、由所述驱动机构(2)驱动,所述第二研磨盘(10)的底面与所述高度调节机构(1)相连,所述第一研磨盘(3)与所述第二研磨盘(10)之间形成研磨工件的腔体;圆箍,所述圆箍包括第一圆箍(4)和第二圆箍(9),所述第一圆箍(4)套设于所述第一研磨盘(3)边缘,所述第二圆箍(9)套设套设于所述第二研磨盘(10)边缘;抛光布,所述抛光布包括第一抛光布(5)和第二抛光布(8),所述第一抛光布(5)铺设于所述第一研磨盘(3)上,所述第二抛光布(8)铺设于所述第二研磨盘(10)上,所述第一抛光布(5)与所述第二抛光布(8)之间形成抛光工件的腔体;套环,所述套环包括第一套环(6)和第二套环(7),所述第一套环(6)套设于所述第一抛光布(5)边缘,所述第二套环(7)套设于所述第二抛光布(8)边缘,所述第一套环(6)与所述第二套环(7)可拆卸连接。
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