[实用新型]一种真空磁控溅射用新型平面阴极有效
| 申请号： | 201821403230.2 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN208844179U | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 匡国庆 | 申请（专利权）人： | 镇江市德利克真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 镇江基德专利代理事务所(普通合伙) 32306 | 代理人： | 马振华 |
| 地址： | 212216 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空磁控溅射用新型平面阴极，包括阴极罩，所述阴极罩的内部中间设有防护基座，所述阴极罩的下表面通过螺栓连接的方式连接有铜背板，铜背板的上表面与防护基座之间均匀连接有固定磁铁和电磁板，通过抽水泵可以将冷却液盛放箱中的冷却液抽取到冷却管路内，通过冷却管路可以对靶材和阴极罩的内部进行散热，通过散热管可以对吸热后的冷却液进行散热，并且通过抽气泵可以将气体抽取到冷凝器的内部，通过变阻器可以对电磁板磁力的大小进行调节，本真空磁控溅射用新型平面阴极结构简单，操作简便，不但使得对装置安装更加方便，而且使得冷却效果更好，并且可以对磁力大小调节更加方便。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极罩 真空磁控溅射 新型平面 冷却液 阴极 防护基座 冷却管路 电磁板 铜背板 散热 吸热 磁力大小调节 本实用新型 固定磁铁 冷却效果 螺栓连接 气体抽取 阴极结构 装置安装 磁力 变阻器 抽气泵 抽水泵 冷凝器 散热管 上表面 盛放箱 下表面 对靶 抽取 | ||
【主权项】：
1.一种真空磁控溅射用新型平面阴极，包括阴极罩(6)，其特征在于：所述阴极罩(6)的内部中间设有防护基座(14)，所述阴极罩(6)的下表面通过螺栓连接的方式连接有铜背板(4)，铜背板(4)的上表面与防护基座(14)之间均匀连接有固定磁铁(12)和电磁板(9)，铜背板(4)的内部设有冷却管路(11)，所述铜背板(4)的下表面设有凹槽，该凹槽的内部设有靶材(10)，所述防护基座(14)的上表面设有冷却液盛放箱(15)和变阻器(18)，变阻器(18)的输出端电连接电磁板(9)的输入端，所述阴极罩(6)的上表面设有上端连接板(8)，上端连接板(8)的上表面设有抽气泵(1)和冷凝器(7)，所述抽气泵(1)的出气口通过导管与冷凝器(7)的进气口连接，冷凝器(7)的出气口通过导管与连接外壳(2)的进气口连接，连接外壳(2)的内部设有散热管(3)，散热管(3)的进水口通过导管与冷却管路(11)，阴极罩(6)的一侧通过螺栓连接有抽水泵(16)，抽水泵(16)的进水口通过导管与冷却液盛放箱(15)的一侧下端连接，冷却液盛放箱(15)的上端进水口通过导管与散热管(3)的出水口连接，所述抽水泵(16)的出水口通过导管与冷却管路(11)的进水口连接，所述上端连接板(8)的上表面设有PLC控制器(17)，PLC控制器(17)的输入端电连接外部电源的输出端，PLC控制器(17)的输出端电连接抽水泵(16)、冷凝器(7)和变阻器(18)的输入端。
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