[实用新型]一种闭式冷却装置有效
| 申请号： | 201821402820.3 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN208965028U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 王军友;陈鸿杰;杨晓磊 | 申请（专利权）人： | 郑州华晶新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 郑州德勤知识产权代理有限公司 41128 | 代理人： | 苏志洋;宋建勋 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种闭式冷却装置，它包括纯净水管闭合回路和冷却设备，所述纯净水管闭合回路用于对镀膜室进行冷却，所述冷却设备用于对所述纯净水管闭合回路进行冷却。该闭式冷却装置采用温度稳定的纯净水对镀膜室进行冷却，可以有效避免结垢，提高冷却效率，以保障各项真空、深冷捕集、腔室温度、粉粒集结的有序可控性。 | ||
| 搜索关键词： | 闭式冷却装置 闭合回路 纯净水管 冷却 冷却设备 镀膜室 本实用新型 冷却效率 温度稳定 纯净水 可控性 捕集 粉粒 结垢 腔室 深冷 集结 | ||
【主权项】：
1.一种闭式冷却装置，其特征在于：它包括纯净水管闭合回路和冷却设备，所述纯净水管闭合回路用于对镀膜室进行冷却，所述冷却设备用于对所述纯净水管闭合回路进行冷却；所述纯净水管闭合回路包括位于镀膜室外的室外管道部分和位于所述镀膜室内的室内管道部分，所述冷却设备对应所述室外管道部分设置。
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