[实用新型]一种多层复合膜真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201821395206.9 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN208776828U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 杨程 | 申请（专利权）人： | 浙江摩鼎纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多层复合膜真空镀膜装置，包括真空室，所述真空室内腔呈圆筒形，真空室内壁间隔设有六道挡边并形成连续的四个镀膜工位与两个预备工位，所述挡边朝真空室中心弧形凸起并对称设有两导向斜面；每个镀膜工位上部设有用于安装靶材的阴极工作台，每个镀膜工位外壁连接有电源箱，阴极工作台连接电源箱；所述真空室底部中心安装有转筒，转筒下端连接驱动机构，转筒侧面按六等分间隔安装有两根导杆，导杆端部滑动套装有伸入至真空室内壁的阳极工作台，阳极工作台与转筒之间连接有设于导杆外周的弹簧，阳极工作台外端面为弧面，弧面顶部连接有与阳极工作台电连的触头，且镀膜工位内壁对应设有与电源箱电连的触头。 | ||
| 搜索关键词： | 阳极 工作台 镀膜 工位 转筒 真空室 真空镀膜装置 多层复合膜 阴极工作台 真空室内壁 电源箱 触头 挡边 导杆 电连 弧面 本实用新型 真空室内腔 导杆端部 导向斜面 等分间隔 底部中心 连接电源 驱动机构 预备工位 中心弧形 滑动套 外端面 圆筒形 靶材 弹簧 内壁 伸入 凸起 外壁 外周 下端 对称 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种多层复合膜真空镀膜装置，包括真空室(1)，所述真空室(1)连接真空泵，并设有带有阀门的进气管；其特征在于，所述真空室(1)内腔呈圆筒形，真空室(1)内壁间隔设有六道挡边(2)并形成连续的四个镀膜工位(3)与两个预备工位(4)，所述挡边(2)朝真空室(1)中心弧形凸起并对称设有两导向斜面(5)；每个镀膜工位(3)上部内壁连接设有用于安装靶材的阴极工作台(12)，每个镀膜工位(3)外壁连接有电源箱(11)，阴极工作台(12)连接电源箱(11)；所述真空室(1)底部中心安装有转筒(6)，转筒(6)下端连接驱动机构(14)，转筒(6)侧面按六等分间隔安装有两根导杆(7)，导杆(7)端部滑动套装有伸入至真空室(1)内壁的阳极工作台(8)，阳极工作台(8)与转筒(6)之间连接有设于导杆(7)外周的弹簧(9)，阳极工作台(8)外端面为弧面，弧面顶部连接有与阳极工作台(8)电连的触头(10)，且镀膜工位(3)内壁对应设有与电源箱(11)电连的触头(10)。
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