[实用新型]一种半导体制造用取样机器人

摘要

本实用新型公开了一种半导体制造用取样机器人,包括壳体，所述壳体的顶部从左至右依次通过螺母螺栓安装有取样机械手和PLC控制器，壳体的一侧通过螺栓固定有横梁，横梁的外部套设有滑块，滑块的底部焊接有连杆，连杆的另一端通过螺丝连接有推杆，推杆的另一端通过转动轴固定有联动杆，联动杆的另一端通过转动轴连接有相位杆，相位杆的另一端设有旋转杆，旋转杆的底部装配有万向轮，旋转杆的两侧均通过铆钉固定有连接杆，连接杆的一侧焊接有卡块，壳体的底部通过螺母螺栓固定有固定支脚，通过联动杆、万向轮、滑块、推杆、旋转杆、连接杆等结构的设置，取样机器人的底部可伸出万向轮，来方便人员对取样机器人进行移动。

主权项

1.一种半导体制造用取样机器人，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)的顶部从左至右依次通过螺母螺栓安装有取样机械手(3)和PLC控制器(2)，壳体(1)的一侧通过螺栓固定有横梁(7)，横梁(7)的外部套设有滑块(8)，滑块(8)的底部焊接有连杆，连杆的另一端通过螺丝连接有推杆(13)，推杆(13)的另一端通过转动轴固定有联动杆(12)，联动杆(12)的另一端通过转动轴连接有相位杆(11)，相位杆(11)的另一端设有旋转杆(5)，旋转杆(5)的底部装配有万向轮，旋转杆(5)的两侧均通过铆钉固定有连接杆(9)，连接杆(9)的一侧焊接有卡块(14)，壳体(1)的底部通过螺母螺栓固定有固定支脚(4)。