[实用新型]一种真空镀膜设备的产品装夹装置

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜设备的产品装夹装置，包括旋转驱动轴,所述旋转驱动轴上套有镀膜保护挡板，所述镀膜保护挡板上安装有第一套绝缘装置，所述旋转驱动轴上套有第一轴承，所述第一轴承外套有第一碳刷导电机构，所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件，所述旋转驱动轴上套有驱动齿轮，所述驱动齿轮与旋转驱动轴之间设有第二套绝缘装置，所述驱动齿轮边缘处啮合有驱动马达，所述旋转驱动轴上套有偏压支架，且位于驱动齿轮的上方，本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,调节电压，使离子束流排出尖角效应的干扰，达到深孔内表面镀膜，复杂曲面镀膜的目的，该装置为两套独立的旋转偏压系统。

主权项

1.一种真空镀膜设备的产品装夹装置，包括旋转驱动轴(6),其特征在于，所述旋转驱动轴(6)上套有镀膜保护挡板(7)，所述镀膜保护挡板(7)上安装有第一套绝缘装置(8)，所述旋转驱动轴(6)上套有第一轴承(9)，所述第一轴承(9)外套有第一碳刷导电机构，所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件，所述旋转驱动轴(6)上套有驱动齿轮(2)，所述驱动齿轮(2)与旋转驱动轴(6)之间设有第二套绝缘装置(3)，所述驱动齿轮(2)边缘处啮合有驱动马达(1)，所述旋转驱动轴(6)上套有偏压支架(12)，且位于驱动齿轮(2)的上方，所述偏压支架(12)与驱动齿轮(2)之间设有第三套绝缘装置(11)，所述偏压支架(12)上设有第二碳刷导电机构，所述第二碳刷导电机构上设有第二轴承(15)，所述旋转驱动轴(6)下表面安装有旋转板(10)，所述旋转板(10)上表面边缘处设有产品支架(4)，所述旋转板(10)上表面边缘处且靠近产品支架(4)处设有偏压板(5)，所述旋转板(10)上表面设有真空镀膜保护罩(13)。