[实用新型]导电环、基于其的供电装置及基于供电装置的电镀治具有效

专利信息
申请号: 201821354434.1 申请日: 2018-08-22
公开(公告)号: CN208869693U 公开(公告)日: 2019-05-17
发明(设计)人: 姚吉豪;何志刚 申请(专利权)人: 深圳市创智成功科技有限公司
主分类号: C25D17/06 分类号: C25D17/06;C25D17/00;C25D7/12
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518100 广东省深圳市宝安区新*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种导电环、基于其的供电装置及基于供电装置的电镀治具,该导电环包括导电环本体,所述导电环本体为分段式结构分布,且由多个导电段组成;每相邻两个导电段之间的断开口填充绝缘胶后通过该绝缘胶层进行隔开;所述导电环本体的表面包裹有绝缘胶层;且所述导电环本体设置有至少一个电极和至少一个支撑脚。本实用新型导电环被均分为多段,且每段均可独立进行电流控制,从而确保晶圆或印刷线路板整体电流分布密度的一致性和均匀性,保证其表面电镀层质量;在传统导电环本体上增设了镀镍层和镀银层,从而降低了导电阻抗,且增强了其传递电流的稳定性,进而减少了检修和更换导电环本体的频率,降低了检修成本。
搜索关键词: 导电环 供电装置 本实用新型 绝缘胶层 电镀 导电段 治具 检修 表面电镀层 分段式结构 印刷线路板 表面包裹 导电阻抗 电流控制 整体电流 镀镍层 镀银层 断开口 绝缘胶 均匀性 支撑脚 电极 多段 隔开 晶圆 填充 增设 传递 保证
【主权项】:
1.一种导电环,其特征在于,包括导电环本体,所述导电环本体为分段式结构分布,且由多个导电段组成;每相邻两个导电段之间的断开口填充绝缘胶后通过该绝缘胶层进行隔开;所述导电环本体的表面包裹有绝缘胶层;且所述导电环本体设置有至少一个电极和至少一个支撑脚。
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