[实用新型]一种加热炉有效
申请号: | 201821305240.2 | 申请日: | 2018-08-14 |
公开(公告)号: | CN208848935U | 公开(公告)日: | 2019-05-10 |
发明(设计)人: | 楚俊波 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L21/67 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 柴亮;张天舒 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种加热炉,属于OLED器件的制备技术领域,其可解决现有的加热炉的箱门开闭取放玻璃基板的过程中会导致加热箱外的水氧进入加热箱,还会造成加热箱内温度降低的问题。本实用新型的加热炉的加热箱的箱壁上设有箱门,加热炉上还设有吹气装置,所述吹气装置可在箱门开闭过程中阻隔加热箱内外气体流动,即吹气装置吹出的气体,相当于形成了门帘或风障,可隔阻加热箱内外的气体和热量传递,降低外界对加热箱内的污染。 | ||
搜索关键词: | 加热炉 加热箱 吹气装置 箱门 加热 本实用新型 开闭 制备技术领域 玻璃基板 气体流动 热量传递 温度降低 门帘 吹出 风障 取放 水氧 箱壁 阻隔 污染 | ||
【主权项】:
1.一种加热炉,其特征在于,包括至少一个加热箱,所述加热箱的箱壁上设有箱门,其中,所述加热炉还包括吹气装置,用于在箱门开闭过程中阻隔加热箱内外气体流动;所述加热箱设有用于向加热箱内充保护气体的进气管和用于对加热箱进行抽气的抽气管。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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