[实用新型]一种纵列式堆叠排气集成系统

摘要

本实用新型公开了一种纵列式堆叠排气集成系统，包括进气管道、排气管道、气体收集罩、外盖、内盖以及机台腔外壳，所述进气管道安装于机台腔外壳一侧，所述机台腔外壳上端设有内盖，所述外盖通过铰链安装于机台腔外壳上端，所述内盖位于外盖下端，所述外盖外侧设有气体收集罩、所述气体收集罩上端设有排气管道，所述排气管道连接抽气机，本实用新型将传统的chamber开盖改为纵列式内盖,让气液彻底分离,让气体有效地从排气孔抽出，把液体阻挡回收,防止过多的液体抽出，本实用新型将传统湿式制程机台面对反应速度太快产生的气体太多,而造成排气不及回流,造成凝结滴落至产品，使产品出现异常的问题，得以完美巧妙的解决。

主权项

1.一种纵列式堆叠排气集成系统，包括进气管道(1)、排气管道(2)、气体收集罩(3)、外盖(4)、内盖(5)以及机台腔外壳(6)，其特征在于，所述进气管道(1)安装于机台腔外壳(6)一侧，所述机台腔外壳(6)上端设有内盖(5)，所述外盖(4)通过铰链安装于机台腔外壳(6)上端，所述内盖(5)位于外盖(4)下端，所述外盖(4)外侧设有气体收集罩(3)、所述气体收集罩(3)上端设有排气管道(2)，所述排气管道(2)连接抽气机。