[实用新型]一种单晶硅棒生产用长度测量装置有效

专利信息
申请号: 201821267258.8 申请日: 2018-08-03
公开(公告)号: CN208419812U 公开(公告)日: 2019-01-22
发明(设计)人: 贠书印;罗园;高贻刚;李一得 申请(专利权)人: 内蒙古赛宝伦科技有限公司
主分类号: G01B5/02 分类号: G01B5/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 010000 内蒙古自治区呼和浩特市经济技术开发区沙*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 实用新型公开了一种单晶硅棒生产用长度测量装置,包括主支柱,所述主支柱的一侧放置有生产台,所述主支柱的中段外侧壁上套接有限位环,所述限位环的上端与生产台的水平工作平面平齐,所述限位环的上方位置设置有滑块架,所述滑块架滑动安装在主支柱的外侧端。本实用新型设置滑块架和提板,可以在单晶硅等径生长过程中保证其垂直,形状规则,不破坏晶体硅的结构构造,对产品保护性更高;设置了压力弹簧、压力传感器和数码显示器,能够在单晶硅棒生产工艺过程中直接得出硅棒圆柱主体所拉升的长度以及锥尖的高度,并且测量的长度精确度高,误差小,并且设置有校零装置,使用操作都极为方便,省去了大量繁琐的工作。
搜索关键词: 主支柱 单晶硅棒 滑块架 长度测量装置 本实用新型 限位环 生产 生产工艺过程 单晶硅 数码显示器 压力传感器 等径生长 工作平面 滑动安装 结构构造 上方位置 校零装置 形状规则 压力弹簧 圆柱主体 晶体硅 外侧壁 外侧端 上端 硅棒 拉升 平齐 上套 提板 中段 锥尖 测量 垂直 保证
【主权项】:
1.一种单晶硅棒生产用长度测量装置,包括主支柱(1),其特征在于,所述主支柱(1)的一侧放置有生产台(2),所述主支柱(1)的中段外侧壁上套接有限位环(3),所述限位环(3)的上端与生产台(2)的水平工作平面平齐,所述限位环(3)的上方位置设置有滑块架(4),所述滑块架(4)滑动安装在主支柱(1)的外侧端,所述主支柱(1)的顶部末端固定安装有圈垫(6),所述圈垫(6)的上表面固定安装有校零旋钮(7),所述圈垫(6)的下方位置设置有数码显示器(8),所述数码显示器(8)的一端固定安装在主支柱(1)上部的外侧壁上。
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