[实用新型]一种横列式堆迭排气集成系统

摘要

本实用新型公开了一种横列式堆迭排气集成系统，包括外盖、内盖、机台腔侧壁以及机台腔外壳，所述机台腔侧壁安装于机台腔外壳两侧，所述机台腔侧壁上端设有内盖，所述外盖通过铰链安装于机台腔外壳上端，所述内盖位于外盖下端，所述外盖与内盖之间为抽气口，本实用新型将传统的chamber开盖改为横列式堆迭内盖,让气液彻底分离,让气体有效地从排气孔抽出，把液体阻挡回收,此结构有效的防止过多的液体抽出，从而形成排气集成系统，本实用新型使利用机台chamber侧边挖孔将机台作用时产生的气体由此孔接管的抽气方式的传统湿式制程机台在面对反应速度太快产生的气体太多,而造成排气不及回流,造成凝结滴落至产品，使产品出现异常的问题，得以完美巧妙的解决。

主权项

1.一种横列式堆迭排气集成系统，包括外盖(1)、内盖(2)、机台腔侧壁(3)以及机台腔外壳(4)，其特征在于，所述机台腔侧壁(3)安装于机台腔外壳(4)两侧，所述机台腔侧壁(3)上端设有内盖(2)，所述外盖(1)通过铰链安装于机台腔外壳(4)上端，所述内盖(2)位于外盖(1)下端，所述外盖(1)与内盖(2)之间为抽气口；所述内盖(2)由板条一体成型，其结构为多个倾斜一定角度的板条沿着机台腔侧壁(3)上端边缘堆迭而成，所述堆迭内盖(2)总体为山形，所述内盖(2)安装于机台腔侧壁(3)内侧壁上。