[实用新型]一种卡合锁紧装置及具有其的光罩车

摘要

本实用新型公开了一种卡合锁紧装置，包括定位轴，其中，还包括凸出卡合器和液压传动杆；凸出卡合器通过液压传动杆与定位轴可伸缩连接；凸出卡合器远离定位轴的外边缘设置有啮齿结构。卡槽内部设置有凹槽，凹槽内设置有第一啮齿结构。凸出卡合器的啮齿结构与凹槽中的第一啮齿结构相啮合。液压传动杆设置在定位轴的内部的通道中，液压传动杆可沿通道伸缩，从而带动所述凸出卡合器远离或靠近所述定位轴。本实用新型还公开了一种光罩车包括光罩车手臂和光罩盒，以及具有上述的卡合锁紧装置。本实用新型提供的卡合锁紧装置可自动校正光罩盒的位置，减少人为接触；可将光罩盒与光罩车锁紧，避免因人为不当操作导致光罩滑落损坏。

主权项

1.一种卡合锁紧装置，包括定位轴，其特征在于，还包括凸出卡合器和液压传动杆；所述凸出卡合器通过所述液压传动杆与所述定位轴可伸缩连接；所述凸出卡合器远离所述定位轴的外边缘设置有啮齿结构。