[实用新型]冷却管固定装置有效
| 申请号: | 201821203708.7 | 申请日: | 2018-07-27 |
| 公开(公告)号: | CN208776875U | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
| 发明(设计)人: | 赵宏图;侯建明;邱江虹 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号: | C30B33/02 | 分类号: | C30B33/02 |
| 代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本实用新型提供一种冷却管固定装置,包括:本体,第一固定结构和第二固定结构,其中本体环绕设置在炉体周围;第一固定结构用于将冷却管固定在本体上;第二固定结构用于将本体固定在炉体上。其在冷却管的安装时,不会破坏冷却管的形状,且能够便捷的对冷却管进行安装,从而提高效率,降低人工成本,利于批量生产。 | ||
| 搜索关键词: | 冷却管 固定结构 固定装置 本实用新型 环绕设置 炉体周围 人工成本 炉体 生产 | ||
【主权项】:
1.一种冷却管固定装置,其特征在于,包括:本体,环绕设置在炉体周围;第一固定结构,用于将所述冷却管固定在所述本体上;第二固定结构,用于将所述本体固定在炉体上。
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