[实用新型]一种用于步进器的晶片工作台有效
| 申请号： | 201821174455.5 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN208636649U | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 周杰;张琪 | 申请（专利权）人： | 安徽睿芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 王桂名 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市经开区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于步进器的晶片工作台，包括定位盘，定位盘顶部固定连接有基台，基台顶端两侧分别连接有V面通盘转轴和F面通盘转轴，V面通盘转轴和F面通盘转轴顶部均通过Y方向晶片工作台固定连接，Y方向晶片工作台顶部固定连接有X方向晶片工作台，Y方向晶片工作台一侧通过圆盘连接有马达，马达外壁中心处的输出轴贯穿圆盘并与X方向晶片工作台上的固定盖相连接，X方向晶片工作台顶端两侧均固定连接有轴座，轴座顶部通过卡盘连接有位于输出轴上方的推杆，晶片桌顶端一侧远离基台中心处连接有移动镜。有益效果：保证了晶片的曝光位置和覆盖面的精度，晶片工作台XY方向的松紧度和平行度得到较好的调节。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片工作台 晶片 转轴 基台 步进器 定位盘 输出轴 中心处 轴座 推杆 马达外壁 曝光位置 覆盖面 固定盖 松紧度 移动镜 卡盘 马达 贯穿 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于步进器的晶片工作台，包括定位盘(1)，其特征在于，所述定位盘(1)顶部固定连接有基台(2)，所述基台(2)顶端两侧分别连接有V面通盘转轴(3)和F面通盘转轴(4)，所述V面通盘转轴(3)和所述F面通盘转轴(4)顶部均通过Y方向晶片工作台(5)固定连接，所述Y方向晶片工作台(5)顶部固定连接有X方向晶片工作台(6)，所述Y方向晶片工作台(5)一侧通过圆盘(7)连接有马达(8)，所述马达(8)外壁中心处的输出轴(9)贯穿所述圆盘(7)并与所述X方向晶片工作台(6)上的固定盖(10)相连接，所述X方向晶片工作台(6)顶端两侧均固定连接有轴座(11)，所述轴座(11)顶部通过卡盘(12)连接有位于所述输出轴(9)上方的推杆(13)，所述推杆(13)顶部连接有与所述推杆(13)相适配的晶片桌(14)，所述晶片桌(14)顶端一侧远离所述基台(2)中心处连接有移动镜(15)，所述晶片桌(14)顶端另一侧通过紧固螺栓(16)连接有位于所述X方向晶片工作台(6)顶部的凸起部(17)，所述凸起部(17)之间设有位于X方向晶片工作台(6)上方的装载部(18)，所述装载部(18)顶部固定安装有晶片(19)。
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