[实用新型]一种基于蓝紫光半导体激光倍频的紫外激光产生装置有效

专利信息
申请号: 201821162461.9 申请日: 2018-07-23
公开(公告)号: CN208385831U 公开(公告)日: 2019-01-15
发明(设计)人: 杨亮;姜中元 申请(专利权)人: 华芯科技(天津)有限公司
主分类号: H01S3/109 分类号: H01S3/109;H01S3/094
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300380 天津市西青区西青经*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型公开了一种基于蓝紫光半导体激光倍频的紫外激光产生装置,采用波长为400~460nm的蓝紫光半导体激光器作为泵浦源,沿光路方向经过快轴准直透镜对蓝紫光半导体激光的快轴进行准直,慢轴准直透镜对蓝紫光半导体激光的慢轴进行准直,再经过聚焦透镜聚焦到紫外倍频晶体上,倍频后获得波长为200~230nm的紫外激光输出。相比于采用全固态激光倍频方法获得的紫外激光具有成本低、结构简单的优点。在机械微加工、微电子学、紫外光谱学、信息学以及医学等领域具有很重要的应用前景。
搜索关键词: 蓝紫光 半导体激光 紫外激光 倍频 产生装置 准直透镜 波长 快轴 慢轴 准直 微电子学 半导体激光器 本实用新型 紫外光谱学 激光倍频 聚焦透镜 紫外倍频 泵浦源 全固态 微加工 光路 聚焦 输出 医学 应用
【主权项】:
1.一种基于蓝紫光半导体激光倍频的紫外激光产生装置,其特征在于沿光路方向依次设有蓝紫光半导体激光器(1)、快轴准直透镜(2)、慢轴准直透镜(3)、聚焦透镜(4)和紫外倍频晶体(5),采用蓝紫光半导体激光器作为泵浦源,沿光路方向经过快轴准直透镜对蓝紫光半导体激光的快轴进行准直,慢轴准直透镜对蓝紫光半导体激光的慢轴进行准直,再经过聚焦透镜聚焦到紫外倍频晶体上,倍频后获得紫外激光输出。
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