[实用新型]一种化学气相沉积法制备电缆铜导体镀包石墨烯薄膜的装置

摘要

本实用新型公开了一种化学气相沉积法制备电缆铜导体镀包石墨烯薄膜的装置，包括有设备主体，所述设备主体包括有玻璃管，玻璃管的两端部的圆形玻璃固定件，且每个固定件上带一个电极，玻璃管两端端部安装有密封盖，密封盖内设有电缆导体电极，且其一端的电缆导体电极下方设有热电偶，玻璃管的底面安装有三个玻璃阀，三个玻璃阀分别连接至真空泵、氩气瓶、氦气瓶、氢气瓶、甲烷气瓶。本实用新型结构简单，易于操作，所用装备制得的石墨烯产品质地优良，其包覆在铜基体上所得的导体具有极低的导体电阻、较强的机械性能。

主权项

1.一种化学气相沉积法制备电缆铜导体镀包石墨烯薄膜的装置，包括有设备主体，其特征在于：所述设备主体包括有玻璃管，所述玻璃管两端部内置两块用于夹持铜导体的圆形玻璃固定件，且每个固定件上带一个电极，所述玻璃管两端端部安装有密封盖，所述密封盖内设有与固定件上电极对应的电缆导体电极，其两电缆导体电极通过电缆连接到大电缆电源上，且其一端的电缆导体电极下方设有热电偶，所述热电偶的测温头位于玻璃管内，其另一端通过补偿导线连接至温度测控仪，所述玻璃管的底面安装有三个玻璃阀，三个玻璃阀分别为抽出空气阀、注入保护气体阀、注入碳源气体阀，所述抽出空气阀通过高压软管连接至真空泵，所述注入保护气体阀通过高压软管连接至纯度99.999%氩气瓶和纯度99.999%氦气瓶，所述注入碳源气体阀通过高压软管连接至纯度99.999%氢气瓶和纯度99.995%甲烷气瓶。