[实用新型]带有水冷热屏升降装置的单晶炉有效
申请号: | 201821143778.8 | 申请日: | 2018-07-19 |
公开(公告)号: | CN208485982U | 公开(公告)日: | 2019-02-12 |
发明(设计)人: | 毛家信 | 申请(专利权)人: | 浙江晶阳机电有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 吴宏宇 |
地址: | 314000 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了带有水冷热屏升降装置的单晶炉,包括单晶炉炉盖、以及安装该单晶炉炉盖上的升降装置,升降装置包括安装在单晶炉炉盖上的安装座、水冷热屏连接管,安装座一端设置安装底板,另一端设有波纹管,波纹管下端固定在安装座上,上端安装在安装支架上,安装底板上设置直线导轨,直线导轨上安装滑动模组,滑动模组在所述直线导轨上的运动方向与波纹管轴线方向平行,滑动模组固定连接安装支架,单晶炉炉盖上设有通孔,水冷热屏连接管穿过所述的通孔与安装支架固定连接。利用升降装置,减少人工晶棒拉制的时间和劳动强度,提高控制的准确性;利用滑动模组实现热屏的升降,降低晶棒拉制等因素对设备的影响,同时,因为其投入少,便于推广。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 升降装置 滑动模组 冷热 炉盖 安装支架 直线导轨 安装座 安装底板 拉制 波纹管 连接管 晶棒 通孔 本实用新型 波纹管轴线 方向平行 一端设置 对设备 上端 热屏 下端 升降 穿过 | ||
【主权项】:
1.带有水冷热屏升降装置的单晶炉,其特征在于,包括单晶炉炉盖、以及安装该单晶炉炉盖上的升降装置,升降装置包括安装在单晶炉炉盖上的安装座、水冷热屏连接管,安装座一端设置安装底板,另一端设有波纹管,波纹管下端固定在安装座上,上端安装在安装支架上,安装底板上设置直线导轨,直线导轨上安装滑动模组,滑动模组在所述直线导轨上的运动方向与波纹管轴线方向平行,滑动模组固定连接过渡板,过渡板固定连接安装支架,单晶炉炉盖上设有通孔,水冷热屏连接管穿过所述的通孔与安装支架固定连接。
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