[实用新型]一种非晶态透明导电薄膜的晶化装置有效
| 申请号： | 201821093591.1 | 申请日： | 2018-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN208532924U | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 李佳明;颜悦;姜良宝;陈牧;李晓宇;马一博;雷沛 | 申请（专利权）人： | 中国航发北京航空材料研究院 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 李建英 |
| 地址： | 100095 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种非晶态透明导电薄膜的晶化装置，尤其涉及非晶态ITO透明导电薄膜的红外晶化装置。真空腔室分别与真空泵、真空度测量装置、气体流量计连接，并在腔室侧壁上安装进气管道；在真空腔室内放置红外加热灯管，红外灯管背部表面涂有一层反射层材料；红外灯管固定在灯架上，灯架安装在真空腔室内部的顶部，灯架上装有固定灯管的夹具，并在灯架顶端开槽，夹具位于槽内；在灯管下方放置一个样品支架，所述样品支架安装在真空腔室底面，样品支架的支架腿上设有滑轨，样品支架的样品托板固定在支架腿上，在样品托板中间区域开槽；样品支架上方安装测温装置，测温装置与红外灯管通过法兰盘与真空腔室外的温度反馈控制装置相连。 | ||
| 搜索关键词： | 样品支架 红外灯管 晶化装置 非晶态 真空腔 灯架 夹具 透明导电薄膜 测温装置 样品托板 真空腔室 支架腿 开槽 真空度测量装置 红外加热灯管 本实用新型 反射层材料 气体流量计 背部表面 灯架顶端 固定灯管 进气管道 控制装置 腔室侧壁 温度反馈 中间区域 灯管 法兰盘 室内部 真空泵 底面 滑轨 室外 室内 | ||
【主权项】：
1.一种非晶态透明导电薄膜的晶化装置，其特征在于，真空腔室分别与真空泵、真空度测量装置、气体流量计连接，并在腔室侧壁上安装进气管道；在真空腔室内放置红外加热灯管，红外灯管背部表面涂有一层反射层材料；红外灯管固定在灯架上，灯架安装在真空腔室内部的顶部，灯架上装有固定灯管的夹具，并在灯架顶端开槽，夹具位于槽内；在灯管下方放置一个样品支架，所述样品支架安装在真空腔室底面，样品支架的支架腿上设有滑轨，样品支架的样品托板固定在支架腿上，在样品托板中间区域开槽；样品支架上方安装测温装置，测温装置与红外灯管通过法兰盘与真空腔室外的温度反馈控制装置相连。
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