[实用新型]一种用于集成电路制造的电镀槽结构

摘要

本实用新型涉及集成电路制造相关设备技术领域，尤其为一种用于集成电路制造的电镀槽结构，包括槽体，槽体两侧均紧密焊接有支架，支架上安装有气缸，每个气缸的输出端均设有固定块，每个固定块的一侧均设有连接杆，连接杆远离固定块的一端设有螺纹套筒，螺纹套筒内设有螺旋装置，螺旋装置包括顶盖，螺杆和卡接座，螺杆的底端设有卡接块，卡接块上套设有限位盖，位于卡接座的中心位置处设有卡槽。本实用新型通过螺旋装置和螺纹套筒配合实现壳体内液体的搅拌，便于拆卸和安装，气缸工作时，使得螺杆不停的正反旋转，螺杆带动槽体内的搅拌桨不断翻转，使得搅拌更加均匀，使用方便，解决电镀槽内搅拌装置不便于安装和搅拌不均匀的问题。

主权项

1.一种用于集成电路制造的电镀槽结构，包括槽体(1)，其特征在于：所述槽体(1)两侧均紧密焊接有支架(11)，所述支架(11)上安装有气缸(2)，每个所述气缸(2)的输出端均设有固定块(21)，每个所述固定块(21)上设有螺栓(211)，且所述固定块(21)通过所述螺栓(211)与所述气缸(2)的输出端螺纹连接，每个所述固定块(21)的一侧均设有连接杆(22)，所述连接杆(22)远离所述固定块(21)的一端设有螺纹套筒(23)，所述螺纹套筒(23)内设有螺旋装置(3)；所述螺旋装置(3)包括顶盖(31)、螺杆(32)和卡接座(33)，所述螺杆(32)的顶面设有螺孔(321)，且所述顶盖(31)通过所述螺孔(321)与所述螺杆(32)螺纹连接，所述螺杆(32)的底端设有卡接块(322)，所述卡接块(322)与所述螺杆(32)的底端紧密焊接，所述卡接块(322)上套设有限位盖(323)，且所述螺杆(32)通过所述限位盖(323)与所述卡接座(33)螺纹连接，位于所述卡接座(33)的中心位置处设有卡槽(331)，所述卡接座(33)的底部紧密焊接有搅拌桨(4)。