[实用新型]一种具有恒温加热功能的抽真空装置有效
申请号: | 201821049717.5 | 申请日: | 2018-07-03 |
公开(公告)号: | CN208364330U | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 沈斌;苗义;朱国伟 | 申请(专利权)人: | 上海光华仪表有限公司 |
主分类号: | F04B37/14 | 分类号: | F04B37/14;F04B39/06;F04B39/00;G01L9/12 |
代理公司: | 上海集信知识产权代理有限公司 31254 | 代理人: | 周成 |
地址: | 201615 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种具有恒温加热功能的抽真空装置,包括:依次连接的温控单元、密封单元和抽真空单元;所述温控单元,包括:温度控制器、温度传感器和加热带,温度传感器、加热带的一端均连于温度控制器上;所述密封单元,包括:基板,连于基板下表面的底板,罩设于基板上的保温盖,温度传感器、加热带的另一端均连于基板与底板之间;所述抽真空单元,包括:汇流管,汇流管的一端设置有数个抽真空管头,且均设于保温盖内,抽真空管头上均连有接头,汇流管的另一端连通有真空泵。本实用新型能够有效地去除电容式绝对压力传感器上真空腔内残留的水分子和气体分子。 | ||
搜索关键词: | 温度传感器 汇流管 加热带 基板 底板 本实用新型 抽真空单元 抽真空装置 温度控制器 恒温加热 密封单元 温控单元 保温盖 绝对压力传感器 基板下表面 抽真空管 气体分子 一端设置 依次连接 抽真空 电容式 水分子 有效地 真空泵 真空腔 管头 去除 罩设 连通 残留 | ||
【主权项】:
1.一种具有恒温加热功能的抽真空装置,其特征在于,包括:依次连接的温控单元、密封单元和抽真空单元;所述温控单元,包括:温度控制器、温度传感器和加热带,温度传感器、加热带的一端均连于温度控制器上;所述密封单元,包括:基板,连于基板下表面的底板,罩设于基板上的保温盖,温度传感器、加热带的另一端均连于基板与底板之间;所述抽真空单元,包括:汇流管,汇流管的一端设置有数个抽真空管头,且均设于保温盖内,抽真空管头上均连有接头,汇流管的另一端连通有真空泵。
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