[实用新型]一种插片机定位装置有效
| 申请号: | 201821018155.8 | 申请日: | 2018-06-28 |
| 公开(公告)号: | CN208385372U | 公开(公告)日: | 2019-01-15 |
| 发明(设计)人: | 刘海林 | 申请(专利权)人: | 东方日升(洛阳)新能源有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68 |
| 代理公司: | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人: | 王滨生 |
| 地址: | 471000*** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | 一种插片机定位装置,插片机的两端对称设置两对挡板,挡板的上表面设置垫板,垫板的上表面均匀分布螺纹孔,垫板的上表面与挡板内侧表面之间设置支架,支架的上表面均匀分布螺纹孔,垫板的螺纹孔与支架的螺纹孔内同轴设置螺栓,支架的下端一侧与挡板的内侧表面之间设置紧固件,支架的上部倒L形的垂直板外表面均匀分布分隔片,一对支架上的分隔片相向设置,一对挡板上方的一对支架的上部倒L形的垂直板的相向面上相对应的四个分隔片之间构成单片硅片插入空腔,单片硅片插入空腔垂直于一对挡板;通过在插片机的挡板上设置支架和分隔片,使至少五十片硅片分别插入单片硅片插入空腔内,避免硅片倾斜导致的定位不准确,导致硅片出现崩边、缺角、碎片。 | ||
| 搜索关键词: | 支架 挡板 插片机 分隔片 螺纹孔 上表面 垫板 插入空腔 单片硅片 硅片 定位装置 垂直板 倒L形 挡板内侧表面 两端对称 内侧表面 同轴设置 相向设置 螺栓 紧固件 崩边 缺角 下端 相向 垂直 | ||
【主权项】:
1.一种插片机定位装置,是由:插片机(1)、挡板(2)、支架(3)、垫板(4)、螺栓(5)、分隔片(6)构成;其特征在于:插片机(1)的两端对称设置两对挡板(2),插片机(1)一端的一对挡板(2)位于另一端一对挡板(2)的延长线上,挡板(2)的上表面设置垫板(4),垫板(4)的上表面均匀分布螺纹孔,垫板(4)的上表面与挡板(2)内侧表面之间设置支架(3),支架(3)由上部倒L形板的垂直板下端一侧设置下部倒L形板,下部倒L形板的水平板与上部倒L形的垂直板相互垂直,上部倒L形板和下部倒L形板一体成形,支架(3)的上表面均匀分布螺纹孔,垫板(4)的螺纹孔与支架(3)的螺纹孔内同轴设置螺栓(5),螺栓(5)的下端面与挡板(2)的上表面接触,支架(3)和垫板(4)通过螺栓(5)与挡板(2)连为一体,支架(3)的下端一侧与挡板(2)的内侧表面之间设置紧固件,支架(3)的上部倒L形的垂直板外表面均匀分布分隔片(6),分隔片(6)在支架(3)的上部倒L形的垂直板外表面构成梳子状,支架(3)与分隔片(6)一体成形,一对支架(3)上的分隔片(6)相向设置,一对挡板(2)上方的一对支架(3)的上部倒L形的垂直板的相向面上相对应的四个分隔片(6)之间构成单片硅片插入空腔,单片硅片插入空腔垂直于一对挡板(2)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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