[实用新型]一种真空化学气相沉积炉焦油、炭墨过滤器有效
| 申请号： | 201820997420.5 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN208660652U | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 关刚刚;李少华;赵亚国 | 申请（专利权）人： | 西安西炉特种电炉有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/12 | 分类号： | B01D46/12;B01D5/00;B01D49/00 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 王蕊转 |
| 地址： | 710086 陕西省西安市雁塔区西三环和科*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空化学气相沉积炉焦油、炭墨过滤器，包括过滤器本体，过滤器本体的上端从上往下依次设有盖板及挂板，挂板的下方连接有过滤体，过滤体内从上至下设有若干过滤单元，过滤器本体的底部设有排污口，过滤器本体一侧的上端设有排气口，排气口处设有压力传感器A，过滤器本体另一侧的下端设有进气口，进气口处设有压力传感器B，挂板上均匀分布有透气孔。该过滤器能够将气相沉积炉内的焦油、炭墨过滤掉，防止焦油或炭墨堵塞真空泵管道。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤器本体 焦油 炭墨 过滤器 气相沉积炉 挂板 进气口 压力传感器 真空化学 上端 过滤 本实用新型 真空泵管道 过滤单元 排气口处 过滤体 排气口 排污口 透气孔 盖板 下端 体内 堵塞 | ||
【主权项】：
1.一种真空化学气相沉积炉焦油、炭墨过滤器，其特征在于：包括过滤器本体(1)，过滤器本体(1)的上端从上往下依次设有盖板(2)及挂板(3)，挂板(3)的下方连接有过滤体(4)，过滤体(4)内从上至下设有若干过滤单元，过滤器本体(1)的底部设有排污口(5)，过滤器本体(1)一侧的上端设有排气口(6)，排气口(6)处设有压力传感器A(7)，过滤器本体(1)另一侧的下端设有进气口(8)，进气口(8)处设有压力传感器B(9)，挂板(3)上均匀分布有透气孔。
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