[实用新型]一种碳化硅研磨载盘改善载具有效
| 申请号： | 201820942039.9 | 申请日： | 2018-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN208276715U | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 苏双图;张洁;赖柏帆;林武庆 | 申请（专利权）人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 362211 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅研磨载盘改善载具，包括钢制夹具载具，钢制夹具载具的外周一圈连接有齿圈，钢制夹具载具的中心位置开设有通孔，通孔外周的钢制夹具载具上开设有第一导流孔，第一导流孔外周的钢制夹具载具上开设有晶片夹具孔，晶片夹具孔内卡合有晶片夹具，晶片夹具孔的一周连接有第一半圆孔和第二半圆孔。本碳化硅研磨载盘改善载具，设计出聚氨酯或聚乙烯材料制成的晶片夹具，通过第一半圆孔和第二半圆孔配合，固定晶片夹具，中心夹具的中心位置开设有晶片孔，在研磨过程中，柔软的晶片夹具避免出现崩角的风险，也避免了崩角的碎片掉在研磨盘面上，导致出现爆盘的风险，不仅改善了产品的良率，同时也提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 载具 晶片夹具 钢制夹具 研磨 半圆孔 碳化硅 载盘 导流孔 通孔 外周 夹具 本实用新型 聚乙烯材料 固定晶片 生产效率 中心夹具 聚氨酯 圈连接 齿圈 晶片 良率 内卡 盘面 柔软 配合 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硅研磨载盘改善载具，包括钢制夹具载具(1)，其特征在于：所述钢制夹具载具(1)的外周一圈连接有齿圈(2)，钢制夹具载具(1)的中心位置开设有通孔(11)，通孔(11)外周的钢制夹具载具(1)上开设有第一导流孔(12)，第一导流孔(12)外周的钢制夹具载具(1)上开设有晶片夹具孔(13)，晶片夹具孔(13)内卡合有晶片夹具(3)，晶片夹具孔(13)的一周连接有第一半圆孔(131)和第二半圆孔(132)，第一半圆孔(131)一侧的钢制夹具载具(1)上开设有安装槽(14)，晶片夹具孔(13)的侧壁上连接有凸起条(133)，所述晶片夹具(3)包括中心夹具(31)、固定夹具(32)和开启夹具(33)，中心夹具(31)的外周连接有固定夹具(32)和开启夹具(33)，中心夹具(31)的中心位置开设有晶片孔(311)，晶片孔(311)内放置有碳化硅晶片(4)，中心夹具(31)外周的钢制夹具载具(1)上开设有第二导流孔(15)，固定夹具(32)和开启夹具(33)之间的中心夹具(31)外壁上开设有凹槽(312)，凹槽(312)内卡合有凸起条(133)，固定夹具(32)与第二半圆孔(132)卡合连接，开启夹具(33)的侧壁上开设有扣拉槽(331)，开启夹具(33)与第一半圆孔(131)卡合连接，扣拉槽(331)与安装槽(14)连通。
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