[实用新型]磁控介质阻挡放电阳极键合系统有效
| 申请号： | 201820940339.3 | 申请日： | 2018-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN208292656U | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 潘明强;姚富荣;王阳俊;刘吉柱;孙立宁 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 叶栋 |
| 地址： | 215104 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种磁控介质阻挡放电阳极键合系统，该系统包括工作台，工作台包括平行设置的第一电极和第二电极；磁控模块，磁控模块产生周期变化的磁场；电源模块，电源模块与第一电极和第二电极电性连接；加热装置，加热装置用于提供键合所需温度；驱动装置，驱动装置与第一电极连接，驱动装置驱动第一电极在竖直方向的移动区域内上下移动。该磁控介质阻挡放电阳极键合系统将磁控强化、预处理放电和阳极键合三者一体化控制，最终形成多能场耦合键合，实现低温高效阳极键合。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控 阳极键合 第一电极 介质阻挡放电 驱动装置 第二电极 电源模块 加热装置 工作台 预处理 本实用新型 一体化控制 产生周期 电性连接 平行设置 上下移动 移动区域 耦合键 放电 键合 能场 竖直 磁场 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种磁控介质阻挡放电阳极键合系统，其特征在于，包括：工作台，所述工作台包括平行设置的第一电极和第二电极；磁控模块，所述磁控模块产生周期变化的磁场；电源模块，所述电源模块与所述第一电极和第二电极电性连接；加热装置，所述加热装置用于提供键合所需温度；驱动装置，所述驱动装置与所述第一电极连接，所述驱动装置驱动所述第一电极在竖直方向的移动区域内上下移动。
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