[实用新型]一种取PVD法的生长的碳化硅晶体装置

摘要

本实用新型公开了一种取PVD法的生长的碳化硅晶体装置，包括护栏以及安装于护栏内的升降旋转机构和载台，所述升降旋转机构由护壳、气缸和电机组成，气缸安装于护壳的内部，电机位于气缸的上端，电机的底座与气缸的连杆连接，电机的输出端伸出护壳的外部；所述载台位于升降旋转机构的上端，载台的底部与电机的输出端转动连接。本取PVD法的生长的碳化硅晶体装置，通过可旋转的坩埚载台可方便坩埚被环绕切割，基于夹具夹持坩埚或坩埚盖，方便切割时的固定；由于切割刀具的刀片为金刚石刀片，可切割各种晶型的碳化硅多晶附着物，安全、快速。

主权项

1.一种取PVD法的生长的碳化硅晶体装置，包括护栏(1)以及安装于护栏(1)内的升降旋转机构(2)和载台(3)，其特征在于：所述升降旋转机构(2)由护壳(21)、气缸(22)和电机(23)组成，气缸(22)安装于护壳(21)的内部，电机(23)位于气缸(22)的上端，电机(23)的底座(231)与气缸(22)的连杆(221)连接，电机(23)的输出端伸出护壳(21)的外部；所述载台(3)位于升降旋转机构(2)的上端，载台(3)的底部与电机(23)的输出端转动连接，载台(3)的台面上设有夹具(4)，夹具(4)由第一半环件(41)、第二半环件(42)、转轴(43)、凸块(44)和锁紧螺母(45)组成，第一半环件(41)与第二半环件(42)的一端通过转轴(43)活动连接，转轴(43)的底部延伸至载台(3)的台面上，转轴(43)与载台(3)一端设有的轴孔(31)相对应，转轴(43)转动安装于轴孔(31)内，凸块(44)安装于第一半环件(41)与第二半环件(42)的另一端，凸块(44)的中部开设有螺孔(441)，螺孔(441)与锁紧螺母(45)相匹配，锁紧螺母(45)旋入螺孔(441)内；护栏(1)的上端设有上挡板(5)和前挡板(6)，所述上挡板(5)倾斜安装于前挡板(6)的上端，前挡板(6)安装于护栏(1)的外侧壁上；护栏(1)的外侧还安装有切割刀具(7)，所述切割刀具(7)的刀片正对于上挡板(5)和前挡板(6)的内侧。