[实用新型]一种曲面玻璃镀膜设备有效

专利信息
申请号: 201820881702.9 申请日: 2018-06-07
公开(公告)号: CN208667832U 公开(公告)日: 2019-03-29
发明(设计)人: 谢智威 申请(专利权)人: 信利光电股份有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/54;C03C17/00
代理公司: 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 代理人: 王仲凯
地址: 516600 广东省汕*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种曲面玻璃溅射镀膜设备,包括溅射镀膜装置,还包括:用于输送曲面玻璃的输送装置;设置在输送装置的侧边、用于获取输送装置上待镀膜曲面玻璃的高度的获取装置;与获取装置相连、用于根据获取装置获取到的高度以及所需镀膜层的厚度计算与高度相对应的溅射功率的信号处理器;分别与信号处理器及溅射镀膜装置相连、用于在待镀膜曲面玻璃进入溅射镀膜装置的镀膜区域内时控制溅射镀膜装置利用与高度相对应的溅射功率进行溅射镀膜的功率控制装置。本申请公开的上述技术方案,获取装置获取曲面玻璃的高度,信号处理器计算与高度对应的溅射功率,溅射镀膜装置利用与高度对应的溅射功率进行镀膜,从而提高曲面玻璃镀膜层的均匀性。
搜索关键词: 曲面玻璃 溅射镀膜装置 获取装置 溅射功率 输送装置 镀膜 信号处理器 镀膜层 信号处理器计算 功率控制装置 溅射镀膜设备 本实用新型 镀膜区域 镀膜设备 厚度计算 溅射镀膜 均匀性 侧边 申请
【主权项】:
1.一种曲面玻璃镀膜设备,包括溅射镀膜装置,其特征在于,还包括:用于输送曲面玻璃的输送装置;设置在所述输送装置的侧边、用于获取所述输送装置上待镀膜曲面玻璃的高度的获取装置;与所述获取装置相连、用于根据所述获取装置获取到的高度以及所需镀膜层的厚度,计算与高度相对应的溅射功率的信号处理器;分别与所述信号处理器及所述溅射镀膜装置相连、用于在待镀膜曲面玻璃进入所述溅射镀膜装置的镀膜区域内时,控制所述溅射镀膜装置利用与高度相对应的溅射功率进行溅射镀膜的功率控制装置。
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