[实用新型]炉体装配用调节装置及半导体设备有效
| 申请号： | 201820878865.1 | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN208468267U | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 邱江虹;刘红丽 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/14 | 分类号： | B25B27/14 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种炉体装配用调节装置及半导体设备，包括：固定板，固定板用于与主机箱连接；调节板，调节板用于与炉体连接；调节板设于固定板上，且调节板相对于固定板的倾斜角度能够被调节；锁紧件，锁紧件用于调节调节板相对于固定板的倾斜角度；固定件，固定件将固定板和调节板固定。利用炉体装配用调节装置在进行炉体装配时，便于实现炉体的水平调节，从而能够保证炉体与反应腔室的恒温区中心的一致性，提高控温精度。 | ||
| 搜索关键词： | 炉体 调节板 固定板 装配 调节装置 半导体设备 固定件 锁紧件 反应腔室 水平调节 恒温区 主机箱 控温 保证 | ||
【主权项】：
1.一种炉体装配用调节装置，其特征在于，包括：固定板，所述固定板用于与主机箱连接；调节板，所述调节板用于与炉体连接；所述调节板设于所述固定板上，且所述调节板相对于所述固定板的倾斜角度能够被调节；锁紧件，所述锁紧件用于调节所述调节板相对于所述固定板的倾斜角度；固定件，所述固定件将所述固定板和所述调节板固定。
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