[实用新型]一种磁控溅射靶材的固定结构

摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射靶材的固定结构，包括主体和上板，所述主体的内侧安装有卡附条，且卡附条的左端连接有主弹簧，所述卡附条的右端安置有次弹簧，所述主体的中部设置有内槽，且内槽的中段固定有分隔板体，所述上板的外侧连接有软胶垫，且上板位于分隔板体的顶端，所述上板的下端衔接有衔接滑柱，且衔接滑柱中部的外侧设置有滑槽，所述滑槽的外端衔接有外接滑座，所述内槽中部的左端固定有中承接板，所述分隔板体的底端安装有下板。该磁控溅射靶材的固定结构设置有主弹簧和次弹簧，通过主弹簧和次弹簧的弹力作用，使得卡附条具有一个弹力，进而可以来将靶材抵压在内槽内端，起到一个固定靶材的作用。

主权项

1.一种磁控溅射靶材的固定结构，包括主体(1)和上板(7)，其特征在于：所述主体(1)的内侧安装有卡附条(2)，且卡附条(2)的左端连接有主弹簧(3)，所述卡附条(2)的右端安置有次弹簧(4)，所述主体(1)的中部设置有内槽(5)，且内槽(5)的中段固定有分隔板体(6)，所述上板(7)的外侧连接有软胶垫(8)，且上板(7)位于分隔板体(6)的顶端，所述上板(7)的下端衔接有衔接滑柱(9)，且衔接滑柱(9)中部的外侧设置有滑槽(10)，所述滑槽(10)的外端衔接有外接滑座(11)，所述内槽(5)中部的左端固定有中承接板(12)，所述分隔板体(6)的底端安装有下板(13)，所述主体(1)左右两端的内部均设置有水室(14)，且水室(14)的内端固定有固定片(15)，所述水室(14)顶端的外侧连接有进水口(16)。