[实用新型]一种应用于PECVD石墨舟的紧固结构有效
| 申请号： | 201820784840.5 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN208203725U | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王欢;谢安冉;肖如镜;姜明理;陈岩;董凤荣 | 申请（专利权）人： | 山东伟基炭科技有限公司 |
| 主分类号： | F16B5/02 | 分类号： | F16B5/02;F16B39/24;C23C16/458;C23C16/513 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人： | 刘乃东 |
| 地址： | 250102 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了应用于PECVD石墨舟的紧固结构，包括多片石墨舟片、连接块和螺纹紧固件，所述连接块设于相邻的两块石墨舟片之间，所述石墨舟片两端部设有石墨舟片连接孔，在连接块上设有连接块连接孔，螺纹紧固件包括螺栓或者螺柱、螺母，所述螺栓或者螺柱的螺纹一端穿过石墨舟片连接孔、连接块连接孔后与螺母连接，在螺母内侧端面与石墨舟片之间设有弹性体一。本实用新型弹性体一在被压缩后对外侧的螺母产生张力，使用期间弹性体一处于被压缩状态，不易造成螺母与螺栓或者螺柱之间的松动，保证石墨舟片之间的间距稳定，从而保证硅片的抓取精度，提高生产效率和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨舟片 螺母 连接孔 螺栓 螺柱 本实用新型 螺纹紧固件 紧固结构 石墨舟 抓取 螺母连接 内侧端面 生产效率 使用期间 压缩状态 两端部 硅片 螺纹 多片 松动 应用 保证 穿过 压缩 | ||
【主权项】：
1.一种应用于PECVD石墨舟的紧固结构，包括多片石墨舟片、连接块和螺纹紧固件，其特征是，所述连接块设于相邻的两块石墨舟片之间，所述石墨舟片两端部设有石墨舟片连接孔，在连接块上设有连接块连接孔，螺纹紧固件包括螺栓或者螺柱、螺母，所述螺栓或者螺柱的螺纹一端穿过石墨舟片连接孔、连接块连接孔后与螺母连接，在螺母内侧端面与石墨舟片之间设有弹性体一。
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