[实用新型]用于抗PID性能光伏电池片的高温高压干湿氧化装置

摘要

本实用新型涉及一种用于抗PID性能光伏电池片的高温高压干湿氧化装置，包括氧化炉、氧化瓶、O₂气体罐和HCL气体罐，在所述氧化炉内设有石英管，在所述石英管内分别设有用于加热的热电偶和用来放置石墨舟的S1片区，所述O₂气体罐和HCL气体罐分别通过管路与石英管相连通，并且各自的管路上分别设有O₂气体直通自动控制阀和HCL气体自动控制阀，所述氧化瓶)上设有温度计，并且设有一与O₂气体罐连通的进气管，和一与石英管连通的出气管，所述氧化瓶置于加热油槽内，加热油槽置于电炉上，在所述氧化瓶与石英管和O₂气体罐连接的管路上分别设有湿氧自动控制阀和干氧通入氧化瓶自动控制阀。

主权项

1.一种用于抗PID性能光伏电池片的高温高压干湿氧化装置，其特征在于：包括氧化炉(1)、氧化瓶(6)、O2气体罐(9)和HCL气体罐(10)，在所述氧化炉(1)内设有石英管(2)，在所述石英管(2)内分别设有用于加热的热电偶(4)和用来放置石墨舟的S1片区(3)，所述O2气体罐(9)和HCL气体罐(10)分别通过管路与石英管(2)相连通，并且在O2气体罐(9)和HCL气体罐(10)各自的管路上分别设有O2气体直通自动控制阀(13)和HCL气体自动控制阀(12)，所述氧化瓶(6)上设有温度计(7)，并且设有一与O2气体罐(9)连通的进气管，和一与石英管(2)连通的出气管，所述氧化瓶(6)置于加热油槽内，加热油槽置于电炉(5)上，在所述氧化瓶(6)与石英管(2)和O2气体罐(9)连接的管路上分别设有湿氧自动控制阀(15)和干氧通入氧化瓶自动控制阀(14)。