[实用新型]一种晶圆末端执行器防碰撞装置有效
| 申请号： | 201820701153.2 | 申请日： | 2018-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN208215365U | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 王子菲 | 申请（专利权）人： | 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J13/00 | 分类号： | B25J13/00;B25J19/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（上海）自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种晶圆末端执行器防碰撞装置，它包括晶圆末端执行器、微型激光测量头、控制器。所述晶圆末端执行器安装固定在机械手臂的末端，用作承载晶圆；所述微型激光测量头安装固定在晶圆末端执行器的末端，并通过光纤连接到控制器；所述控制器通过微型激光测量头发射和接收激光，获得晶圆末端执行器与其正前方物体的距离，当晶圆末端执行器与其正前方物体的距离触发控制器设定的参数时，停止晶圆末端执行器的前进运动，避免发生碰撞。本实用新型中的微型激光测量头由光纤和镜头组成，不含电子部件，不发热，不受晶圆制程中电磁噪声影响，性能稳定，可有效防止晶圆末端执行器发生碰撞。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆末端执行器 微型激光 控制器 测量头 防碰撞装置 末端执行器 安装固定 正前方 晶圆 种晶 本实用新型 控制器设定 电磁噪声 电子部件 光纤连接 机械手臂 距离触发 前进运动 制程 发热 光纤 激光 测量 承载 发射 镜头 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆末端执行器防碰撞装置，它包括晶圆末端执行器、微型激光测量头、控制器，所述晶圆末端执行器安装固定在机械手臂的末端，用作承载晶圆；所述微型激光测量头安装固定在晶圆末端执行器的末端，并通过光纤连接到控制器。
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