[实用新型]一种湿式制程设备动态蚀刻药液喷洒装置

摘要

一种湿式制程设备动态蚀刻药液喷洒装置，包括箱体和风机，所述箱体为矩形腔体，腔体内上部设有固定安装的喷淋管，所述喷淋管包括药液管道、气体管道和喷头，药液管道和气体管道水平相邻布置，喷头内设有喷道、液道和气道，喷道位于喷头的轴线下段，液道和气道位于喷头的上部两侧，液道分别与药液管道、喷道联通，气道分别与气体管道和喷道联通，箱体上部设有药液输入管，药液输入管与药液管道联通，箱体的一侧设有进气口，另一侧设有抽气口，进气口与气体管道联通，抽气口与箱体外部风机的进风口管路联通个，风机的排风口与进气口管路联通，喷淋管的正下方设有多组水平布置的滚动圆辊，滚动圆辊上放置基板，基板上盛放产品。

主权项

1.一种湿式制程设备动态蚀刻药液喷洒装置，其特征是，包括箱体(1)和风机(2)，所述箱体(1)为矩形腔体，腔体内上部设有固定安装的喷淋管(3)，所述喷淋管(3)包括药液管道(4)、气体管道(5)和喷头(6)，药液管道(4)和气体管道(5)水平相邻布置，喷头(6)内设有喷道(7)、液道(8)和气道(9)，喷道(7)位于喷头(6)的轴线下段，液道(8)和气道(9)位于喷头(6)的上部两侧，液道(8)分别与药液管道(4)、喷道(7)联通，气道(9)分别与气体管道(5)和喷道(7)联通，箱体(1)上部设有药液输入管(10)，药液输入管(10)与药液管道(4)联通，箱体(1)的一侧设有进气口(11)，另一侧设有抽气口(12)，进气口(11)与气体管道(5)联通，抽气口(12)与箱体(1)外部风机(2)的进风口管路联通个，风机(2)的排风口与进气口(11)管路联通，喷淋管(3)的正下方设有多组水平布置的滚动圆辊(13)，滚动圆辊(13)上放置基板(14)，基板(14)上盛放产品。