[实用新型]一种采用水环式真空泵的直拉单晶炉装置有效
| 申请号： | 201820679865.9 | 申请日： | 2018-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN208219011U | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 罗毅;龚瑞 | 申请（专利权）人： | 安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230601 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉晶体制造设备技术领域，具体涉及一种采用水环式真空泵的直拉单晶炉装置，直拉单晶炉装置包括拉伸腔和炉膛，在所述拉伸腔和炉膛之间设有隔离阀，滑阀真空泵通过管路分别连接于所述拉伸腔和炉膛，在所述滑阀真空泵与所述拉伸腔之间的管路上设有第一真空球阀，在所述滑阀真空泵与所述炉膛之间的管路上设有第二真空球阀；水环式真空泵通过管路及第三真空球阀连接于所述炉膛；氩气瓶设在所述直拉单晶炉装置的一侧，所述氩气瓶通过管路分别连接于所述拉伸腔和炉膛，在所述氩气瓶与所述拉伸腔之间的管路上设有第一氩气阀门。本实用新型采用了两种真空泵，为晶体的正常持续的生产提供了保障。 | ||
| 搜索关键词： | 炉膛 拉伸腔 直拉单晶炉 水环式真空泵 滑阀真空泵 真空球阀 氩气瓶 本实用新型 制造设备 氩气阀门 隔离阀 晶体的 真空泵 生产 | ||
【主权项】：
1.一种采用水环式真空泵的直拉单晶炉装置，包括直拉单晶炉装置，其特征在于：所述直拉单晶炉装置包括拉伸腔和炉膛，在所述拉伸腔和炉膛之间设有隔离阀，滑阀真空泵通过管路分别连接于所述拉伸腔和炉膛，在所述滑阀真空泵与所述拉伸腔之间的管路上设有第一真空球阀，在所述滑阀真空泵与所述炉膛之间的管路上设有第二真空球阀；水环式真空泵通过管路及第三真空球阀连接于所述炉膛；氩气瓶设在所述直拉单晶炉装置的一侧，所述氩气瓶通过管路分别连接于所述拉伸腔和炉膛，在所述氩气瓶与所述拉伸腔之间的管路上设有第一氩气阀门，在所述氩气瓶与所述炉膛之间的管路上设有质量流量控制器及第二氩气阀门。
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