[实用新型]一种吸盘式快速翻转装置

摘要

本申请公开了一种吸盘式快速翻转装置，包括工作台和设于工作台上的翻转单元，翻转单元具有一初始位置和一目标位置，初始位置设有一第一输送单元，目标位置设有一第二输送单元，翻转单元用于将第一输送单元上的硅片翻转移送至第二输送单元上，翻转单元包括多个翻转工装，每个翻转工装包括基座和设于基座上的第一驱动机构、被第一驱动机构驱动绕一转轴转动的手臂，手臂的一端设有一吸盘，转轴的一端设有一同步带轮，同步带轮与第一驱动机构通过一同步带连接，通过在第一输送单元和第二输送单元之间设置翻转单元，有效避免在翻转过程中对硅片的损伤，大大提高了产品的合格率。

主权项

1.一种吸盘式快速翻转装置，其特征在于，包括工作台和设于所述工作台上的翻转单元，所述翻转单元具有一初始位置和一目标位置，所述初始位置设有一第一输送单元，所述目标位置设有一第二输送单元，所述翻转单元用于将所述第一输送单元上的硅片翻转移送至所述第二输送单元上，所述翻转单元包括多个翻转工装，每个所述翻转工装包括基座和设于所述基座上的第一驱动机构、被所述第一驱动机构驱动绕一转轴转动的手臂，所述手臂的一端设有一吸盘，所述转轴的一端设有一同步带轮，所述同步带轮与所述第一驱动机构通过一同步带连接。