[实用新型]一种提拉单晶炉装置有效
| 申请号： | 201820678937.8 | 申请日： | 2018-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN208219010U | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 罗毅;龚瑞 | 申请（专利权）人： | 安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230601 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶棒生长领域，具体涉及一种提拉单晶炉装置，包括壳体及设在所述壳体内的炉体，所述炉体与壳体之间设有保温石棉毡，在所述炉体内设有底托，在所述底托上设有坩埚，置于所述坩埚内的是籽晶杆，所述籽晶杆的上端连接于丝杆电机，在所述坩埚两侧的炉体内对称设有硅碳棒，还包括PLC控制系统，所述PLC控制系统与所述丝杆电机和硅碳棒连接。本实用新型一种提拉单晶炉装置，采用在所述坩埚两侧的炉体内对称设有硅碳棒并通过PLC实现温度的精准控制，为进一步确保温度在标准范围内，在所述的炉体内还设有热电偶进行监控，结构紧凑，加热效果好，满足晶体成长环境。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 体内 单晶炉装置 硅碳棒 提拉 本实用新型 丝杆电机 籽晶杆 底托 壳体 炉体 对称 保温石棉 成长环境 加热效果 精准控制 热电偶 上端 晶棒 监控 生长 | ||
【主权项】：
1.一种提拉单晶炉装置，包括壳体及设在所述壳体内的炉体，其特征在于：所述炉体与壳体之间设有保温石棉毡，在所述炉体内设有底托，在所述底托上设有坩埚，置于所述坩埚内的是籽晶杆，所述籽晶杆的上端连接于丝杆电机，在所述坩埚两侧的炉体内对称设有硅碳棒，还包括PLC控制系统，所述PLC控制系统与所述丝杆电机和硅碳棒连接。
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