[实用新型]半导体单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种半导体单晶炉，它包括底座、主炉室、副炉室、下驱动装置和上驱动装置，它还包括可升降磁场装置、副炉室升降驱动装置、副炉室旋转驱动装置和电动接晶托，可升降磁场装置包括磁场产生源和磁场升降驱动装置，磁场升降驱动装置连接在底座上，磁场产生源和磁场升降驱动装置相连，以便通过磁场升降驱动装置驱动磁场产生源升降，且磁场产生源套装在主炉室的外侧；副炉室通过副炉室旋臂连接在副炉室升降驱动装置上；副炉室旋转驱动装置连接在副炉室升降驱动装置和副炉室旋臂之间。本实用新型采用自动化操作，定位精准、结构简单、易操作、易控制，且磁场产生源、副炉室移动平稳、无晃动，进而保证了晶棒的质量，也降低了生产难度。

主权项

1.一种半导体单晶炉，它包括底座(1)、主炉室(2)、副炉室(3)、下驱动装置(4)和上驱动装置(5)，所述主炉室(2)和下驱动装置(4)均安装在底座(1)上，所述主炉室(2)内设置有坩埚，所述下驱动装置(4)和坩埚相连，以便通过下驱动装置(4)驱动坩埚升降，所述副炉室(3)和主炉室(2)相连通，所述上驱动装置(5)安装在副炉室(3)的上端，以便通过上驱动装置(5)驱动拉晶，其特征在于，它还包括：可升降磁场装置，所述可升降磁场装置包括磁场产生源(61)和磁场升降驱动装置，所述磁场升降驱动装置连接在底座(1)上，所述磁场产生源(61)和磁场升降驱动装置相连，以便通过磁场升降驱动装置驱动磁场产生源(61)升降，且所述磁场产生源(61)套装在主炉室(2)的外侧；副炉室升降驱动装置，所述副炉室(3)通过副炉室旋臂(81)连接在副炉室升降驱动装置上，以便通过副炉室升降驱动装置驱动副炉室旋臂(81)升降，并通过副炉室旋臂(81)带动副炉室(3)升降；副炉室旋转驱动装置，所述副炉室旋转驱动装置连接在副炉室升降驱动装置和副炉室旋臂(81)之间，以便使得副炉室旋转驱动装置随副炉室旋臂(81)一起升降，并通过副炉室旋转驱动装置驱动副炉室旋臂(81)旋转，副炉室旋臂(81)又带动副炉室(3)旋转；在副炉室(3)移动到取晶位的过程中用于承接晶棒的电动接晶托。