[实用新型]一种用于晶圆修膜的转动平台有效
| 申请号： | 201820629628.1 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN208305529U | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 于政;何肇阳;汪洋;周科群;赵亚东 | 申请（专利权）人： | 宁波芯健半导体有限公司 |
| 主分类号： | B29C37/02 | 分类号： | B29C37/02 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨;孙健 |
| 地址： | 315336 浙江省宁波市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于晶圆修膜的转动平台，包括底板、抽气泵和转动台，所述的底板上端面一端内安装有抽气泵，另一端中部上竖直安装有管口，所述的管口上端转动安装有转动台，转动台中部安装有与管口的出气口转动连接的接入管，所述的转动台上端面对称竖直安装有两根竖直支架，所述的竖直支架上端安装有定位模座，所述的定位模座上安装有可拆卸固定模，所述的可拆卸固定模与定位模座之间留有密封腔体。本实用新型具有结构简单、操作方便、适用不同的规格的晶圆、提高晶圆的质量、保证了生产效率等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 定位模座 转动台 管口 本实用新型 可拆卸固定 竖直安装 竖直支架 转动平台 上端 抽气泵 底板 底板上端面 密封腔体 生产效率 转动安装 转动连接 出气口 接入管 转动 对称 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于晶圆修膜的转动平台，包括底板(1)、抽气泵(2)和转动台(4)，其特征在于：所述的底板(1)上端面一端内安装有抽气泵(2)，另一端中部上竖直安装有管口(10)，所述的管口(10)上端转动安装有转动台(4)，转动台(4)中部安装有与管口(10)的出气口转动连接的接入管(13)，所述的转动台(4)上端面对称竖直安装有两根竖直支架(5)，所述的竖直支架(5)上端安装有定位模座(6)，所述的定位模座(6)上安装有可拆卸固定模(7)，所述的可拆卸固定模(7)与定位模座(6)之间留有密封腔体，可拆卸固定模(7)上均匀布置有若干与密封腔体连通的吸孔(12)，所述的接入管(13)上端通过管路与三通接头(14)下端相连，所述的三通接头(14)的上端通过管路与定位模座(6)下端面中部的气管接头(15)连通，所述的三通接头(14)的侧面开口通过管路与位于定位模座(6)下端面侧部的辅助接头(16)相连，所述的管口(10)侧面的开口通过进气管(8)与抽气泵(2)相连，抽气泵(2)的控制电路通过电缆(9)与底板(1)上的操作按钮(11)相连。
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