[实用新型]一种磁控溅射镀膜设备保压系统有效
| 申请号： | 201820627766.6 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN208104532U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 岳大勇;张青涛;解孝辉 | 申请（专利权）人： | 吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;陈婷婷 |
| 地址： | 215222 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种磁控溅射镀膜设备保压系统，其中，磁控溅射镀膜设备设有多个镀膜腔室，所述镀膜腔室设有密封板以及驱使所述密封板运动的气动元件，所述保压系统包括用以与所述气动元件通过管道相连的第一供气支路以及与所述第一供气支路相并联的第二供气支路，所述第一供气支路包括通过管道依次相连的第一气压检测装置、第一阀门、第二气压检测装置以及第一供气装置；所述第二供气支路包括通过管道依次相连的第二阀门、第三阀门以及第二供气装置，所述第一气压检测装置和所述第二气压检测装置分别与工控装置电连接，本实用新型的保压系统能有效保障磁控溅射镀膜设备内的高真空度，提高设备运行效率，保证产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 供气支路 磁控溅射镀膜设备 气压检测装置 保压系统 阀门 本实用新型 镀膜腔室 供气装置 气动元件 依次相连 密封板 设备运行效率 高真空度 工控装置 有效保障 电连接 并联 保证 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射镀膜设备保压系统，其中，磁控溅射镀膜设备设有多个镀膜腔室，所述镀膜腔室设有密封板以及驱使所述密封板运动的气动元件，其特征在于：所述保压系统包括用以与所述气动元件通过管道相连的第一供气支路以及与所述第一供气支路相并联的第二供气支路，所述第一供气支路包括通过管道依次相连的第一气压检测装置、第一阀门、第二气压检测装置以及第一供气装置；所述第二供气支路包括通过管道依次相连的第二阀门、第三阀门以及第二供气装置，所述第一气压检测装置和所述第二气压检测装置分别与工控装置电连接。
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