[实用新型]基于图像处理的激光微加工自动调焦装置

摘要

本实用新型提出基于图像处理的激光微加工自动调焦装置，包括控制模块、标准图像采集机构及激光加工平台；激光加工平台包括校对图像机构和激光加工机构，校对图像机构和激光加工机构共用调焦机构；标准图像采集机构包括成像设备、光源、双色镜、调焦平台和聚焦物镜；光源的光线经聚焦物镜聚焦后，对加工对象表面进行照射；成像设备经双色镜采集加工对象表面的反射光，并通过调焦平台调节聚焦物镜相对加工对象表面的距离以生成加工对象表面最优清晰度数码图像；控制模块根据最优图像生成清晰度标准值；当进行调焦时，校对图像机构采集加工部位表面图像，并根据控制模块提供的清晰度标准值进行调焦；本产品可以在加工对象表面稳定地维持激光焦点。

主权项

1.基于图像处理的激光微加工自动调焦装置，其特征在于：所述自动调焦装置包括控制模块、与控制模块相连的标准图像采集机构及激光加工平台；所述激光加工平台包括校对图像机构和激光加工机构，所述校对图像机构的成像焦距与激光加工机构的激光加工聚焦焦距相同；校对图像机构和激光加工机构共用调焦机构；所述标准图像采集机构包括成像设备、光源、双色镜、调焦平台和固定于调焦平台处的聚焦物镜；所述光源的光线经聚焦物镜聚焦后，对加工对象表面进行照射；所述成像设备经双色镜采集加工对象表面的反射光，并通过调焦平台调节聚焦物镜相对加工对象表面的距离以生成加工对象表面最优清晰度数码图像；所述控制模块根据最优清晰度数码图像生成清晰度标准值；当进行调焦时，所述校对图像机构采集加工部位表面图像，并根据控制模块提供的清晰度标准值进行调焦，当校对图像机构的采集图像符合清晰度标准值时，所述激光加工机构以校对图像机构此时的聚焦距离为激光加工时的聚焦距离。