[实用新型]反应腔室用观察窗组件及反应腔室有效
| 申请号： | 201820606095.5 | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN208476758U | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 李一成;茅兴飞 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/15;G01N21/73 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种反应腔室用观察窗组件和反应腔室，反应腔室用观察窗组件包括：主观察窗，包括相对设置的安装表面和观察表面；套筒，套筒设于主观察窗的安装表面，且套筒的轴向垂直于安装表面；次观察窗，次观察窗设于套筒的内部空间中，沿着套筒的轴向将套筒的内部空间分隔为相互隔离的第一空间和第二空间，第二空间靠近安装表面。该反应腔室用观察窗组件能够有效防止等离子体轰击主观察窗，对主观察窗起到保护作用，更换时，只需整体取出套筒，更换次观察窗即可，无需更换主观察窗，操作方便，也不会引起由于拆卸主观察窗而导致的密封性降低或者需要重新进行密封的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 套筒 反应腔室 主观察窗 观察窗组件 安装表面 观察窗 第二空间 等离子体轰击 第一空间 观察表面 相对设置 轴向垂直 密封性 分隔 轴向 拆卸 密封 取出 隔离 | ||
【主权项】：
1.一种反应腔室用观察窗组件，其特征在于，包括：主观察窗，包括相对设置的安装表面和观察表面；套筒，所述套筒设于所述安装表面，且所述套筒的轴向垂直于所述安装表面；和次观察窗，所述次观察窗设于所述套筒的内部空间中，沿着所述套筒的轴向将所述套筒的内部空间分隔为相互隔离的第一空间和第二空间；所述第二空间靠近所述安装表面。
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