[实用新型]一种用于掩膜电解加工的复合运动装置

摘要

本实用新型公开了一种用于掩膜电解加工的复合运动装置，包括挂板，固定接头，电解加工单元，它还包括电机、电机固定座、联轴器、传动轴、轴承、轴承座；挂板带动安装在其正面的电机做周向平动，电机通过联轴器、传动轴和固定接头带动电解加工单元做正反向循环旋转；本实用新型提出一种电解加工单元在竖直平面做圆周平动的同时绕自身的轴线做一定角度的正反向循环转动的复合运动方式，改变以往单一的进液模式，从正向和侧向同时进液，提高加工区域内电解液的更替速度，电解产物得到及时地排出，从而提高工件表面微坑阵列的均匀性和增大微坑的深径比。

主权项

1.一种用于掩膜电解加工的复合运动装置，包括挂板（1），固定接头（8），电解加工单元（9），其特征是：它还包括电机（3）、电机固定座（2）、联轴器（4）、传动轴（7）、轴承（5）、轴承座（6）；所述的电机（3）固定安设于电机固定座（2）上；所述的电机固定座（2）固定安设于挂板（1）的正面；所述的传动轴（7）的上端通过联轴器（4）与电机（3）的输出轴同轴线联接；所述的传动轴（7）同轴线安设于轴承（5）的内圈，且所述的传动轴（7）的轴线为竖直方向；所述的轴承（5）同轴线固定在轴承座（6）上；所述的轴承座（6）固定安设于挂板（1）的正面；所述的电解加工单元（9）通过固定接头（8）可拆卸地安装在传动轴（7）的下端。