[实用新型]基于X射线阵列组合折射透镜的微束X射线荧光分析系统有效

专利信息
申请号: 201820583889.4 申请日: 2018-04-23
公开(公告)号: CN208188021U 公开(公告)日: 2018-12-04
发明(设计)人: 乐孜纯;董文 申请(专利权)人: 浙江工业大学
主分类号: G01N23/223 分类号: G01N23/223
代理公司: 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 代理人: 王利强
地址: 310014 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种基于X射线阵列组合折射透镜的微束X射线荧光分析系统,包括X射线光管、可见光激光器、X射线阵列组合折射透镜集成组件、样品台、X射线探测器及其信息采集分析模块,所述X射线光管或可见光激光器均和X射线阵列组合折射透镜集成组件、样品台的被测样品位于同一光轴上,所述X射线探测器贴近被测样品放置,所述X射线探测器与信息采集分析模块相连。本实用新型提供一种同时具备高微区分辨率和高灵敏度,并可进行现场分析的小型化微束X射线荧光分析系统。
搜索关键词: 折射透镜 阵列组合 微束 可见光激光器 被测样品 分析模块 集成组件 信息采集 样品台 光管 本实用新型 高灵敏度 同一光轴 现场分析 分辨率 均和 微区
【主权项】:
1.一种基于X射线阵列组合折射透镜的微束X射线荧光分析系统,其特征在于,所述系统包括X射线光管、可见光激光器、X射线阵列组合折射透镜集成组件、样品台、X射线探测器及其信息采集分析模块,所述X射线光管或可见光激光器均和X射线阵列组合折射透镜集成组件、样品台的被测样品位于同一光轴上,所述X射线探测器贴近被测样品放置,所述X射线探测器与信息采集分析模块相连;所述X射线阵列组合折射透镜集成组件包括用于进行X射线光束第一次整形和滤波的X射线光阑、用于进行X射线光束第二次整形为类平行光的X射线折光器和用于对入射的多个X射线子光束分别进行聚焦的X射线阵列组合透镜,所述X射线光阑、X射线折光器和X射线阵列组合折射透镜依次位于微束X射线荧光分析系统的光轴上,所述X射线阵列组合折射透镜的阵列结构布局,保证每一个子光束所形成的聚焦焦斑在同一位置并位于光轴上。
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