[实用新型]一种复合量程气压传感器和高精度探空气压测量装置有效
| 申请号： | 201820545333.6 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN208109322U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 张加宏;王银;冒晓莉;陈虎 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08;G01L9/06;G01L19/06;G08C17/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 朱桢荣 |
| 地址： | 210044 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种复合量程气压传感器，包括自下而上依次叠放的玻璃基底层、硅底层、绝缘二氧化硅层和玻璃空腔，硅底层底部向上设置有两级凹槽，凹槽上方设有内膜片和外膜片，外膜片比内膜片的厚度厚，内膜片为内部气压传感器的受力应变薄膜，外膜片为外部气压传感器的受力应变薄膜；绝缘二氧化硅层上表面放置了内外两组套嵌的由4个硅纳米线压敏电阻构成的惠斯通电桥。本实用新型还公开了一种高精度探空气压测量装置，本实用新型提高了传感器的可承受最大压力，由于使用了较厚的外膜，因此可以使用更薄的内膜片，从而实现了更高的灵敏度，有效的减小了数据测量误差，满足了高精度气压测量装置的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 内膜片 本实用新型 外膜片 传感器 二氧化硅层 气压传感器 测量装置 复合量程 应变薄膜 空气压 受力 绝缘 气压测量装置 惠斯通电桥 玻璃空腔 硅纳米线 内部气压 数据测量 外部气压 向上设置 压敏电阻 依次叠放 最大压力 玻璃基 灵敏度 上表面 减小 两级 两组 套嵌 外膜 | ||
【主权项】：
1.一种复合量程气压传感器，其特征在于，包括自下而上依次叠放的玻璃基底层、硅底层、绝缘二氧化硅层和玻璃空腔，硅底层底部向上设置有两级凹槽，凹槽上方设有内膜片和外膜片，外膜片比内膜片的厚度厚，内膜片为内部气压传感器的受力应变薄膜，外膜片为外部气压传感器的受力应变薄膜；绝缘二氧化硅层上表面放置了内外两组套嵌的由4个硅纳米线压敏电阻构成的惠斯通电桥，其中一组惠斯通电桥中的硅纳米线压敏电阻两两对称放置于内膜片四周，另一组惠斯通电桥中的硅纳米线压敏电阻两两对称放置于外膜片的四周。
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