[实用新型]GCT芯片门/阴极阻断特性圆周法测试台

摘要

本实用新型是一种GCT芯片门/阴极阻断特性圆周法测试台。采用圆周转动测试方法，设计中采用了高精度的三维移动平台、步进电机驱动的旋转平台和探针座，配以CCD视频显微镜进行设备调整和测试过程监控，设计的C型机架和架空平台以构成较好的人机操作结构，配以不同规格专门设计的载片定位夹具满足不同尺寸芯片测试需要。该测试台通过在GCT芯片生产中的应用，在可靠性、检测准确性和高效率等方面满足规模化生产的测试需要。本测试台就是为满足GCT芯片的门/阴极之间数千只二极管特性进行直流电压阻断测试，以高效、准确地筛选出个别失效器件，并做以标识，为后续工艺修补提供可能性。

主权项

1.一种GCT芯片门/阴极阻断特性圆周法测试台，包括圆周法精密测试探针台和高清CCD数字显微镜，其特征在于：高清CCD数字显微镜包括CMOS摄像头(8)和显示器(9)，用于测试过程中的微观图像监控；圆周法精密测试探针台的机架(10)为C形结构，底部为梯形底座，通过方形柱子(11)连接摄像头竖直固定圆杆(12)和摄像头固定横支架(13)，用于固定CMOS摄像头(8)；圆周法精密测试探针台结构架空安装在机架的中部，圆周法精密测试探针台包括XYZ三维移动测试平台、电动旋转平台(23)、测试夹具(20)、门极滚动测试探针(28)、阴极测试软探针(38)和打点器组件，XYZ三维移动测试平台由XY二维移动测试平台(25)和Z方向燕尾槽齿条型可调滑台(27)构成，Z方向燕尾槽齿条型可调滑台(27)用螺丝垂直固定在机架(10)的方形柱子(11)内侧，通过Z方向调节旋钮(37)调节平台上下运动；XY二维移动测试平台(25)水平安装，与Z方向燕尾槽齿条型可调滑台(27)处于垂直关系，二者通过L型转接板(26)用螺丝固定连接，通过测试平台XY方向调节旋钮(43)调节前后左右位置；XY二维移动测试平台(25)上面通过旋转平台固定板(24)用螺丝(22)连接电动旋转平台(23)，电动旋转平台(23)上采用夹具定位柱(36)和测试夹具安装板(21)用螺丝(35)把测试夹具(20)同心地固定在电动旋转平台(23)的中心位置，测试夹具(20)上放置GCT芯片(1)；机架(10)左右两侧靠后位置分别设有门极滚动测试探针(28)、阴极测试软探针(38)，门极测试探针铜压杆(30)固定在门极探针固定器(31)上并通过门极探针固定器(31)与门极探针用三维探针座(33)连接，其水平投影与移动平台X轴负方向形成30±2°夹角，门极滚动测试探针(28)上竖直安装的铜滚轮(46)运行在GCT芯片(1)的门极区域，门极测试探针铜压杆(30)与GCT芯片的门极圆环形成切线位置关系，使其可靠地进行门极滚动接触，用门极探针用三维探针座(33)调节位置，整个组件通过探针组件安装块(34)固定在旋转平台固定板(24)上，整体随着XY移动平台移动，与GCT芯片位置相对固定；阴极测试软探针(38)通过安装在机架(10)后侧立柱中部的阴极组件安装板(16)固定，阴极测试软探针(38)的位置用阴极探针用三维探针座(41)调节，软探针的水平投影与XY移动平台的X轴正方向形成45±2°夹角，调试时把移动平台调节在Z轴的上限位置，通过调节阴极探针用三维探针座(41)使软探针可靠接触在GCT芯片(1)的阴极梳条区域；打点器组件由打点器组件用三维探针座(18)和墨汁打点器(19)构成，整体安装在机架(10)后侧立柱的中上部位置，打点器的打点工作位置通过打点器组件用三维探针座(18)调节，与阴极软探针接触在GCT芯片上的阴极梳条同一位置。