[实用新型]一种多功能光刻真空吸盘有效
| 申请号： | 201820527890.5 | 申请日： | 2018-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN208482742U | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 郭城;吕明;王永超;郭英云 | 申请（专利权）人： | 山东科芯电子有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C11/08 |
| 代理公司： | 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 | 代理人： | 黄晓敏 |
| 地址： | 250200 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体光刻吸盘技术领域，尤其是一种多功能光刻真空吸盘。该多功能光刻真空吸盘，包括吸盘，通气管和法兰盘，吸盘由表面吸盘和底部吸盘组成，底部吸盘上表面设置一个同心的凹形圆，凹形圆的中心设置第一通孔，第一通孔与通气管连通，表面吸盘的中心设置有中心定位通孔，表面吸盘的上表面设置有多个同心的环形凹槽，环形凹槽上均设置有均匀分布的吸附孔，环形凹槽的底面下部均设置有环形空心结构，环形空心结构的底面与表面吸盘的底面之间沿径向设置有螺纹孔，螺纹孔内旋接有出气调节式螺杆。本实用新型的一种多功能光刻真空吸盘设计合理，结构简单，便于实现不同尺寸的硅片的吸附，且使硅片表面涂覆的液态材料的均匀分布。 | ||
| 搜索关键词： | 表面吸盘 真空吸盘 光刻 吸盘 环形凹槽 底面 通孔 本实用新型 底部吸盘 空心结构 中心设置 凹形圆 螺纹孔 上表面 通气管 同心的 半导体光刻 硅片表面 径向设置 液态材料 中心定位 出气 法兰盘 吸附孔 硅片 螺杆 内旋 涂覆 吸附 连通 | ||
【主权项】：
1.一种多功能光刻真空吸盘，包括吸盘（1），设置于吸盘（1）底部的通气管（2）和设置于通气管（2）底部的法兰盘（3），所述吸盘（1）由表面吸盘（4）和底部吸盘（5）组成，底部吸盘（5）上表面设置一个同心的凹形圆（6），凹形圆（6）的中心设置第一通孔（7），第一通孔（7）与通气管（2）连通，其特征在于：所述表面吸盘（4）的中心设置有中心定位通孔（8），表面吸盘（4）的上表面设置有多个同心的环形凹槽（9），环形凹槽（9）上均设置有均匀分布的吸附孔（19），环形凹槽（9）的底面下部均设置有环形空心结构（10），环形空心结构（10）的底面与表面吸盘（4）的底面之间沿径向设置有贯穿表面吸盘（4）的螺纹孔（11），所述螺纹孔（11）内旋接有出气调节式螺杆（12），螺纹孔（11）上表面设置有多个与出气调节式螺杆（12）方向一致的第一进气孔（13），表面吸盘（4）的下表面上设置有多个与出气调节式螺杆（12）方向一致的第二进气孔（14）。
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