[实用新型]基于锯齿结构的柔性压力传感器有效
| 申请号： | 201820498192.7 | 申请日： | 2018-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN207976237U | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 李晓红 | 申请（专利权）人： | 太原工业学院 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;武建云 |
| 地址： | 030008 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于锯齿结构的柔性压力传感器，包括两层锯齿形金属电容极板（1），在上下两层锯齿形金属电容极板（1）之间设置有钛酸钡与PDMS复合微球层（2）；所述锯齿形金属电容极板（1）包括柔性PDMS衬底，所述柔性PDMS衬底的上表面为锯齿形结构，在柔性PDMS衬底的锯齿形结构上表面生长一层金属薄膜，形成锯齿形金属电容极板（1）。该压力传感器具有工艺简单、成本低且能够实现大面积批量化制造优点，同时，该电容结构结合了锯齿结构的可拉伸特性，保障了在拉伸、弯曲、扭转在测量环境下金属电容极板不断裂，使得压力传感器有良好的可拉伸性能。 | ||
| 搜索关键词： | 锯齿形金属 电容极板 锯齿结构 衬底 柔性压力传感器 锯齿形结构 压力传感器 上表面 金属电容极板 本实用新型 可拉伸性能 电容结构 复合微球 金属薄膜 拉伸特性 上下两层 批量化 钛酸钡 拉伸 两层 断裂 测量 扭转 生长 制造 | ||
【主权项】：
1.一种基于锯齿结构的柔性压力传感器，其特征在于：包括两层锯齿形金属电容极板（1），在上下两层锯齿形金属电容极板（1）之间设置有钛酸钡与PDMS复合微球层（2）；所述锯齿形金属电容极板（1）包括柔性PDMS衬底，所述柔性PDMS衬底的上表面为锯齿形结构，在柔性PDMS衬底的锯齿形结构上表面生长一层金属薄膜，形成锯齿形金属电容极板（1）。
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