[实用新型]真空镀膜设备的冷却装置

摘要

本实用新型公开了真空镀膜设备的冷却装置，真空镀膜设备具有镀膜腔体以及设置于镀膜腔体内部的基片架，其中，基片架将镀膜腔体分隔成上部空间和下部空间；冷却装置包括：回风管路，回风管路的一端连通至镀膜腔体的上部空间；送风管路，送风管路的一端连通至镀膜腔体的下部空间；冷却机构，回风管路的另一端连接至冷却机构；以及风机，其进风侧对应于冷却机构，出风侧连接至送风管路的另一端，以使热空气经由回风管路流入冷却机构，以及使冷空气流入送风管路。本实用新型可以在真空镀膜设备镀膜的过程中对基片架进行随时地冷却，保证基片架的温度始终保持稳定，每次镀膜完成后基片架的温度不会达到破坏镀层的程度，提高了真空镀膜设备的工作效率。

主权项

1.真空镀膜设备的冷却装置，所述真空镀膜设备具有镀膜腔体以及设置于所述镀膜腔体内部的基片架，其中，所述基片架将所述镀膜腔体分隔成上部空间和下部空间；其特征在于，所述冷却装置包括：回风管路，所述回风管路的一端连通至所述镀膜腔体的上部空间；送风管路，所述送风管路的一端连通至所述镀膜腔体的下部空间；冷却机构，所述回风管路的另一端连接至所述冷却机构；以及风机，其进风侧对应于所述冷却机构，出风侧连接至所述送风管路的另一端，以使热空气经由所述回风管路流入所述冷却机构，以及使冷空气流入所述送风管路。