[实用新型]一种大面积碳夹心同位素靶的制备装置

摘要

本实用新型属于同位素技术领域，公开了一种大面积碳夹心同位素靶的制备装置。该制备装置主要包括真空室及位于真空室内的膜厚监测器、靶框支架、同位素靶源、碳弧源、旋转驱动装置；该制备装置还包括传动装置和集成电源，该传动装置包括传动齿轮和传动手柄，其中传动齿轮位于真空室内；该集成电源包括第一电源和第二电源，该集成电源位于真空室外。该装置具有操作简单、无需频繁破坏真空且靶膜制备成功率高的有益效果。

主权项

1.一种大面积碳夹心同位素靶的制备装置，该制备装置主要包括真空室及位于真空室内的膜厚监测器、靶框支架、同位素靶源、碳弧源、旋转驱动装置；该制备装置还包括传动装置和集成电源，该传动装置包括传动齿轮和传动手柄，其中传动齿轮位于真空室内；该集成电源包括第一电源和第二电源，该集成电源位于真空室外；所述靶框支架设置于真空室内的上部位置，为圆盘形结构，该支架四周设置有一个或多个与靶框数量、大小和形状对应的靶位，靶框放置于该靶位处；靶框支架与旋转驱动装置连接，该旋转驱动装置带动靶框旋转；所述同位素靶源位于蒸发舟内，该蒸发舟位于其中一个靶位正下方2.5～3cm处，且与两个金属电极固定连接；该两个金属电极与第一电源连接；该碳夹心同位素靶制备过程中，旋转装置带动靶框支架旋转，使同位素靶源均匀地蒸镀在靶框上；所述碳弧源位于真空室内部下方；该碳弧源包括两根碳棒，该两根碳棒与第二电源连接，其中一根碳棒位置固定，另一根碳棒与传动装置连接；在传动装置的带动下两根碳棒的距离可调。