[实用新型]一种开盒设备有效
| 申请号： | 201820421471.3 | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN208314443U | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 龙春艳;王希军 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种开盒设备，属于半导体制造技术领域，适用于开启光罩盒，光罩盒用于放置光罩片，包括：箱体，包括主箱体和设置于主箱体的一侧的背箱体；盒座，设置于主箱体上，用于承载光罩盒；盒座缘，围绕盒座设置，盒座缘的一侧通过一支撑架连接背箱体；用于识别光罩盒形状的第一传感器，朝向盒座设置于盒座的上方；用于识别光罩片的定位标志的第二传感器，朝向盒座设置于盒座缘上；第一传感器和第二传感器连接开盒设备的控制装置。上述技术方案的有益效果是：通过设置传感器识别光罩盒的形状和光罩片的定位标志，以便在光罩盒的形状与光罩片的定位标志方向不符时提示工作人员，以避免人工转移光罩片时的误操作问题，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 盒座 光罩盒 光罩 定位标志 主箱体 开盒 第二传感器 第一传感器 半导体制造技术 本实用新型 传感器识别 控制装置 生产效率 误操作 支撑架 承载 提示 | ||
【主权项】：
1.一种开盒设备，适用于开启光罩盒，所述光罩盒用于放置光罩片，其特征在于，所述开盒设备包括：箱体，包括主箱体和设置于所述主箱体的一侧的背箱体；盒座，设置于所述主箱体上，用于承载所述光罩盒；盒座缘，围绕所述盒座设置，所述盒座缘的一侧通过一支撑架连接所述背箱体；用于识别所述光罩盒形状的第一传感器，朝向所述盒座设置于所述盒座的上方；用于识别所述光罩片的定位标志的第二传感器，朝向所述盒座设置于所述盒座缘上；所述第一传感器和所述第二传感器连接所述开盒设备的控制装置。
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