[实用新型]一种用于测量液体粘度的MEMS芯片有效
| 申请号： | 201820417172.2 | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN208150962U | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 王新亮;马硕;温赛赛;胡慧珊 | 申请（专利权）人： | 苏州原位芯片科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;G01N11/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 215123 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于测量液体粘度的MEMS芯片，所述MEMS芯片包括衬底，该衬底上设有储液池、位于该储液池上方的悬臂梁、设置在该储液池一侧的液体流道以及与液体流道相连通的滴液口，其中，在该悬臂梁上设有用于静电驱动的第一驱动电极；所述衬底上还设有与所述第一驱动电极对应的第二驱动电极；所述储液池用于收容待测量液体；所述悬臂梁用于测量该液体的粘度变化。本实用新型的MEMS芯片结构更加简单，生产成本更低，生产效率更高，并且可广泛应用于医疗卫生、石油、化工、冶金、国防等技术领域。另外，采用本实用新型的MEMS芯片能够检测精度，与IC兼容性更高，更适合个人化与家庭化的使用。 | ||
| 搜索关键词： | 储液池 本实用新型 驱动电极 悬臂梁 衬底 测量液体粘度 液体流道 测量液体 静电驱动 生产效率 医疗卫生 粘度变化 滴液口 个人化 家庭化 兼容性 生产成本 收容 测量 冶金 检测 国防 石油 应用 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量液体粘度的MEMS芯片，其特征在于，所述MEMS芯片包括衬底，该衬底上设有储液池、位于该储液池上方的悬臂梁、设置在该储液池一侧的液体流道以及与液体流道相连通的滴液口，其中，在该悬臂梁上设有用于静电驱动的第一驱动电极；所述衬底上还设有与所述第一驱动电极对应的第二驱动电极；所述储液池用于收容待测量液体；所述悬臂梁用于测量该液体的粘度变化。
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